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全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

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xinwen.mobi 发表于 2025-8-15 16:51:04 | 显示全部楼层 |阅读模式
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2025年8月13日，全国首台国产商业化电子束光刻机“羲之”在杭州客户现场进入应用测试，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。“羲之”光刻机由浙江大学余杭量子研究院自主研发，是依托省重点实验室平台研发的新一代100kV电子束光刻机。该设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，特别适合芯片研发初期的反复调试。“羲之”的精度比肩国际主流设备，其落地彻底打破了此前先进电子束光刻机类设备受国际出口管制，国内顶尖科研机构和企业长期无法采购的困局。目前，“羲之”已与多家企业及科研机构展开接洽，且其定价低于国际均价，有望为加速国产高端芯片的研发进程、抢占未来科技制高点提供坚实的装备基础。
研发, 电子束, 光刻机

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